图形发生器(Pattern Generator)是一种电子设备,通过电子计算机控制,精确生成复杂的图形。这些图形可以是半导体制造或微纳加工设计的各种电路图或者微机电图形,主要用于制作半导体大规模集成电路的掩膜版,或者晶圆直接曝光。