新闻0

  浙江羲之科技有限公司成立于 2025 年 1 月，注册资本 1000 万元，是一家专注于芯片制造设备研制生产与销售的高科技企业。公司总部位于浙江省余杭区，依托当地政府的大力支持，聚集了半导体高端仪器等领域的顶尖人才，致力于推动国内半导体技术的发展。

  羲之科技的主营业务是芯片制造设备的研发与生产，核心产品包括 100kV 和 50kV 电子束光刻机/电子束曝光机，以及图形发生器。该类型设备广泛应用于芯片研发和半导体新工艺开发，能够利用极细的高能电子束在光刻胶表面进行精确描绘，形成芯片制造所需的掩膜版或直写图形，经过显影、刻蚀、注入、封装等后续步骤，最终制成可用的芯片。

  公司已成功研制的 100kV 电子束光刻机，攻克了高压电子枪多级电子透镜高精度工件台、激光定位、图形算法、操作软件、系统集成等多项关键技术，为国内芯片研发和半导体新工艺开发提供了国产化解决方案。